一、潔凈技術所遵循的基本原則
潔凈室要提供滿足工藝過程要求的合格的潔凈環境，應在設計、建造、調試和運行管理各方面遵循如圖1-2所示的四個基本原則。
圖1-2 潔凈工程設計的四個基本原則
1.為防止潔凈室外的顆粒物直接侵入室內采取的技術措施
（1）潔凈室內維持正壓，防止潔凈度比該潔凈室低的周圍空氣攜帶顆粒物及其他污染物通過圍護結構的縫隙和孔洞直接進入室內。
（2）采用符合要求的空氣凈化系統對送風進行過濾。經高效過濾后的空氣，不得被其后的管道、送風口等再污染，同時高效過濾器要安裝密封設施，以免未經高效過濾的空氣滲漏入室。
（3）對進人室內的人員和物料采取合格的凈化措施，防止將污染物帶入潔凈室內。
2.為防止顆粒物在潔凈室內堆積（積聚）采取的技術措施
（1）潔凈室圍護結構內表面不應有或盡量減少突出物和溝縫，以免堆積塵埃。
（2）室內的設備、管路、家具等應易于清掃。
（3）設置真空清掃系統或真空掃除機，定期清掃。
3.為防止室內產生顆粒物采取的技術措施
（1）潔凈室內的建筑裝修材料、設備、家具、用具等應不產塵或盡可能少產塵。
（2）室內人員應穿著合格的潔凈服、遵循潔凈室操作（動作）規程，以減少發塵。
（3）提高工藝過程的機械化、自動化程度。這對高級別潔凈室尤為重要。
4.為迅速有效地排除進入室內和室內發生的顆粒物采取的技術措施
（1）用經過凈化的潔凈空氣及時排除室內發塵，可以采用“稀釋沖淡”或“活塞置換”的手段來排除室內的發塵。
（2）用足夠的風量保證必要的換氣次數，采用合理的氣流組織來實現塵粒的排除，氣流組織要考慮到室內工藝設備和發塵點的位置等實際情況。
（3）對發塵量比較大的設備可以采用局部排風。
這些基本原則的實施需要由規劃、建筑、工藝、空氣凈化、設備材料以及運行管理等多方面共同配合。
二、潔凈室的構成
圖1-3所示為潔凈室的構成。從構成潔凈室整體的硬件來說，有以下幾部分：
圖1-3 潔凈室的構成
1.潔凈室圍護結構
圍護結構是由土建材料現場構筑或由工廠預制的構件構筑，包括潔凈廠房的土建結構和在土建結構內分隔出潔凈室的建筑裝修部分。除了合理的平、剖面規劃布置外，為滿足潔凈要求的建筑和裝修構造節點的設計和制作也是重要的構成部分。
2.空氣凈化系統
除了要滿足工藝要求的室內溫濕度外，凈化空調系統的顯著特點是根據需要采用多級空氣過濾器、保證足夠的風量和有序的壓力控制等。末級過濾器的性能對潔凈室具有關鍵作用，末端高效過濾器安裝的密封性不可忽視。
3.附屬設備
為保證潔凈室的使用，應有合理的人流物流路線和合格的人物凈化設施，如空氣吹淋、傳遞窗等。此外，還有為工藝需要所敷設的其他工藝管線、用于監測潔凈室潔凈度級別和壓力的相關儀器等。
三、潔凈室的分類
1.按潔凈室用途分
（1）工業潔凈室。工業潔凈室是以控制室內空氣中懸浮粒子為主要目的的潔凈室，如微電子、集成電路、精密儀器等工業生產用的潔凈室。
（2）生物潔凈室。生物潔凈室是以控制室內空氣中懸浮微生物粒子為主要目的的潔凈室，如醫院潔凈手術部、生物醫藥制品等工業生產用的潔凈室。
這兩類潔凈室的一般比較見表1-7。
表1-7 工業潔凈室與生物潔凈室的一般比較
2.按氣流組織形式分
（1）單向流潔凈室。單向流潔凈室內氣流流線平行、流向單一，并且有均勻的斷面風速。送出的空氣流像活塞一樣將污染空氣壓出室內，使潔凈室保持很高的潔凈度，且抗污染能力強。
單向流潔凈室分為垂直單向流和水平單向流兩種。垂直單向流（參見表1—8中的示意圖）可以提供最好的空氣潔凈度及控制污染能力，污染物在自上而下的潔凈氣流作用下迅速從地板排走，不易向周邊區域擴散，但造價和運行能耗都比較高，所以一般僅用于高潔凈度要求的潔凈室。水平單向流潔凈室可以減少或取消上下技術夾層，所以造價可以降低，但上游的污染物會隨氣流向下游擴散。事實上水平單向流形式現在應用并不多。
（2）非單向流潔凈室（又稱亂流潔凈室）。非單向流潔凈室內的氣流與普通空調送風方式類似，采用裝有一定級別過濾器的送風口向室內送風（通常為上送），回風口通常設在潔凈室下部側面（參見表1-8中的示意圖），通過送出的潔凈空氣來稀釋室內的污染物，以保持室內必需的潔凈度。
單向流與非單向流潔凈室的主要區別見表1-8。
表1-8 單向流與非單向流潔凈室的比較
（3）混合流潔凈室。混合流潔凈室是單向流與非單向流結合使用的潔凈室，在局部潔凈度要求高的區域釆用單向流，其他區域采用非單向流，以確保工藝要求并降低造價和運行費用。
（4）矢流（對角流）潔凈室。這是一種比較特殊的氣流組織形式（見圖1-4），潔凈氣流從潔凈室的上角送出，從潔凈室對面的下角排出，它既不符合單向流對氣流流線基本平行的要求，又不同于非單向流室內氣流混合稀釋的原理，但實際工程中應用不多。
圖1-4 矢流（對角流）潔凈室
3.按潔凈室建造方式分
（1）土建式潔凈室。與一般建筑一樣，潔凈室的土建和裝修構筑均在現場進行，要求工程圖樣詳盡，但滿足潔凈室要求的材料構造節點往往不易實現。施工過程工種配合要求高，工程周期長，效益欠佳。
（2）裝配式潔凈室。在土建結構完成的基礎上，由專業承包商按工藝生產具有一定模數的隔斷構件（如雙層鋼板，中間為保溫材料的壁板和專用門窗等），進行現場裝配。由于專業廠家能夠批量生產，具備用材、構造節點、工種配合方面的成熟經驗，因此比土建式的施工周期大大縮短，工程投產快，又具有日后變動的靈活性，故效益較高
現代潔凈室實際上是上述兩種建造方式的結合。
4.按空氣潔凈設備的布置方式分
（1）全室型潔凈室。這種潔凈室一般利用集中式凈化空調系統，向全室送風，使整個房間獲得相同的潔凈等級，類似于一般空調工程中的集中式空調系統，如圖1-5a所示。
（2）局部型潔凈室。這種潔凈室利用局部凈化裝置，在潔凈室局部、工藝有專門需要的地方提供潔凈空氣，使局部區域獲得要求的潔凈度，如圖1-5b所示。
（3）結合型潔凈室。這種潔凈室為降低造價和運行費用，用集中式凈化空調系統使潔凈室整體保證一定的潔凈度，而在關鍵工藝區域采用局部潔凈設施?，F代潔凈室大多采用這種形式，以經濟靈活地滿足各種使用要求，如圖1-5c所示。
圖1-5 不同的潔凈設備布置方式
