電子凈化工程的環(huán)境要求

電子工廠離不開潔凈的生產(chǎn)環(huán)境?？偟膩碚f，電子工廠生產(chǎn)工藝對凈化工程環(huán)境的要求特別專業(yè)，可用大、凈、精、純、嚴五個字來形容。

凈：電子工廠，尤其是微電子(IC)前工序和光電子(TFT-LCD)前工序的潔凈室對環(huán)境潔凈度的要求越來越凈。

純：大規(guī)模集成電路前工序?qū)ιa(chǎn)用的高純水、高純氣體以及高純?nèi)軇┑募兌纫笤絹碓郊儭?

嚴：電子凈化工程生產(chǎn)不僅對環(huán)境的潔凈度，溫、濕度有嚴格的要求，同時對環(huán)境的聲、光、電、磁、振等都有嚴格的要求。尤其微電子生產(chǎn)，對環(huán)境的分子級污染提出了新的嚴格的要求。