電子工廠離不開潔凈的生產環境。總的來說,電子工廠生產工藝對凈化工程環境的要求特別專業,可用大、凈、精、純、嚴五個字來形容。
凈:電子工廠,尤其是微電子(IC)前工序和光電子(TFT-LCD)前工序的潔凈室對環境潔凈度的要求越來越凈。
純:大規模集成電路前工序對生產用的高純水、高純氣體以及高純溶劑的純度要求越來越純。
嚴:電子凈化工程生產不僅對環境的潔凈度,溫、濕度有嚴格的要求,同時對環境的聲、光、電、磁、振等都有嚴格的要求。尤其微電子生產,對環境的分子級污染提出了新的嚴格的要求。