ICU病房凈化工程臭氧發生器按其原理可分為：1.電暈放電式；2.電解式；3.紫外照射式；4.核輻射式。應用廣泛的是電暈放電式臭氧發生器。它由臭氧管、臭氧電源，氣源裝置及電控裝置組成。

電暈放電式臭氧發生器按電極的制造材料可以分為：膜介質,玻璃，陶瓷，搪瓷，云母等。應用廣泛的材料是玻璃，玻璃介電體適合大型及中小型臭氧發生器。但玻璃介電體機械強度差現已陸續被其他材料替代。搪瓷介電體在大型臭氧發生器用應較多，它的特點是介質于電極于一體結構緊湊，機械強度高，臭氧產率大等特點，是高檔臭氧設備中較為優良的材料。

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